日媒报导,卫浴设备制造商东陶(TOTO)计划未来五年投资800亿日圆(约4.95亿美元),扩大半导体材料事业,支持1纳米等级的下一代芯片制造技术。
TOTO以陶瓷卫浴产品闻名,但随着人工智能(AI)芯片需求升高,半导体相关事业也成为公司主要获利来源。AI也正重塑长期苦于结构转型的日本制造业。
据日经报导,TOTO位于东京附近神奈川县的厂区,正把研发重点放在逻辑半导体生产所需材料,目标支持更先进的1纳米制程。TOTO将在九州的大分县和福冈县工厂导入最新设备,扩充产能。两座工厂目前都已满载运转,福冈县厂区的新窑炉厂房预定明年1月完工。
TOTO在1980年代把卫生陶瓷制品的烧成技术用于半导体材料。主要产品是用来固定半导体晶圆的静电吸盘,采用高纯度陶瓷,因此格外耐用。
