台积电在日本熊本的首座工厂自一年前全面投产以来带动了当地经济，但部分居民对于晶圆厂对地下水的影响，依然感到不安，担心地下水可能遭受污染或是枯竭。
日本英文媒体日本时报报导，台积电熊本一厂使用了目前目前未纳入监管的全氟烷基化合物（PFAS），虽然工厂废水经过活性碳处理，但要完全去除这些被称为「永久化学品」的物质依然困难。
今年11月，台积电熊本一厂曾举行媒体简报会，希望促进大众对工厂致力永续制造的了解。
台积电熊本一厂指出，工厂每天使用3万公吨用水中，约有75%是回收再利用水。此外，每天的5,500公吨废水排放，水质均受到24小时监控，且标准比现行法律规范更为严格。一旦侦测到异常，系统会自动停止运行并对再废水进行重新处理。
台积熊本厂说，通过各种努力，例如在冬季对稻田注水以利水分渗透至深层地下等方式，工厂在2024年回填了约 500万公吨的地下水，相当于芯片生产耗水量的三倍。
然而，部分当地居民仍然担心地下水污染或是枯竭的风险。
熊本厂所在地菊阳町，当地居民去年2月成立公民团体，70岁的负责人Koichi Ideta说，他们担心含有PFAS的废水流入有明海之后，对食用有明海鱼类、贝类的民众，会有影响。另有当地老农希望熊本县政府和台积电熊本厂，向他们诚恳说明地下水的前景。
熊本县政府自2023年8月开始，已持续在台积电废水处理设施的排放口及相关河流进行水质检测。县府说，虽然曾出现过PFAS浓度的暂时上升，但仍远低于美国和德国设置的饮用水标准。此后浓度已经下降，目前维持稳定。
熊本县知事木村敬则是强调：「本县丰富的地下水是重要的资产。我们将致力于维护地下水的数量与品质，缓解当地居民的忧虑。」
台积电熊本厂的人员也承诺：「我们将努力与当局及供应商合作，减少对人体健康与环境的影响。」