传晶圆清洗用CO2供给吃紧 三星、SK海力士急抢购

南韩消息传出，清洗先进晶圆所需的高纯度二氧化碳（CO2）供给吃紧。目前尚未影响三星电子和SK海力士生产，但两家公司加价抢购，仍难以取得。业界估计，短缺情况可能持续到年底。

韩媒The Elec报导，知情人士透露，供给短缺尚未冲击三星和SK海力士生产，但库存缓冲持续减少，促使两家公司加紧采购。但纵使提高价码，要取得额外供给仍日益困难。气体供应商高层表示：「原料完全不够，我们无法供给客户所需数量。短期内没有实际方式能提高产量」。

高纯度CO2用于半导体清洗，液态CO2进入超临界（supercritical）状态时，会兼具液体和气体特质，液态般的浓度能有效溶解晶圆残留物与污染物，而气态特质能深入线路细部，去除芯片结构深处的微粒。先进半导体的线路间距极窄、深宽比高，需要超临界清洗。

未纯化CO2是炼油、石化、氢能生产的副产品。业界人士指出，伊朗冲突下，原油供给不稳，导致南韩石化厂产能利用率下滑，让CO2短缺恶化。液态CO2价格自年初以来，估计已经上涨两成，业界预料供给吃紧将持续到今年底。