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    财经

    晶圆清洗CO2吃紧 三星、SK海力士抢购

    周辰阳由 周辰阳2026年6月30日没有评论0 查看
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    消息传出,南韩清洗先进晶圆所需的高纯度二氧化碳(CO2)短缺。(路透)
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    消息传出,南韩清洗先进晶圆所需的高纯度二氧化碳短缺。(路透)
    消息传出,南韩清洗先进晶圆所需的高纯度二氧化碳短缺。(路透)

    南韩消息传出,清洗先进晶圆所需的高纯度二氧化碳(CO2)供给吃紧。目前尚未影响三星电子和SK海力士生产,但两家公司加价抢购,仍难以取得。业界估计,短缺情况可能持续到年底。

    韩媒The Elec报导,知情人士透露,供给短缺尚未冲击三星和SK海力士生产,但库存缓冲持续减少。但纵使提高价码,要取得额外供给仍日益困难。气体供应商高层表示:「原料完全不够,我们无法供给客户所需数量。短期内没有实际方式能提高产量」。

    高纯度CO2用于半导体清洗,液态CO2进入超临界(supercritical)状态时,会兼具液体和气体特质,液态般的浓度能有效溶解晶圆残留物与污染物,而气态特质能深入线路细部,去除芯片结构深处的微粒。先进半导体的线路间距极窄、深宽比高,需要超临界清洗。

    三星 南韩
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