
南韩消息传出,清洗先进晶圆所需的高纯度二氧化碳(CO2)供给吃紧。目前尚未影响三星电子和SK海力士生产,但两家公司加价抢购,仍难以取得。业界估计,短缺情况可能持续到年底。
韩媒The Elec报导,知情人士透露,供给短缺尚未冲击三星和SK海力士生产,但库存缓冲持续减少。但纵使提高价码,要取得额外供给仍日益困难。气体供应商高层表示:「原料完全不够,我们无法供给客户所需数量。短期内没有实际方式能提高产量」。
高纯度CO2用于半导体清洗,液态CO2进入超临界(supercritical)状态时,会兼具液体和气体特质,液态般的浓度能有效溶解晶圆残留物与污染物,而气态特质能深入线路细部,去除芯片结构深处的微粒。先进半导体的线路间距极窄、深宽比高,需要超临界清洗。

