南韩媒体报导,日本主要溶剂生产商已通知三星电子与SK海力士(SK Hynix)等半导体客户,微影制程原料生产遭遇瓶颈,引发各界忧虑可能冲击南韩芯片生产。
南韩The Elec报导,多位产业人士22日透露,日本主要微影材料供应商21日晚间起陆续通过南韩部门,通知三星电子和SK海力士等客户,采购原料受阻。
目前供应短缺的内核原料为广泛应用于电子材料的溶剂:丙二醇甲醚(PGME)与丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA),半导体制程使用这两种溶剂的原料包括光阻剂、稀释剂、抗反射涂层、旋涂式硬掩模(SOH)等。
PGME与PGMEA短缺的原因为伊朗战争。日本约40%以上的石油脑仰赖从中东进口的石油生产,而日本半导体原料倾向自产,一名南韩产业人士认为,「日本向来倾向采用国产原料,这种自给自足结构在平时是优势,但若像这次一样,上游来源切断,整体产业链就会集体震荡」。
日本微影原料业者正评估,转向南韩或中国大陆采购PGME与PGMEA,但关键在于制程变更通知(PCN)程序,若光阻剂原料来源改变,三星与SK海力士必须重新评估验证。
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